减少由于内应力拉伸使得基座本体表面出现破裂的可能九游会j9登录北京凯芯新材料科技取得一种基座专利

　　国家知识产权局信息显示•◆…=，北京凯芯新材料科技有限公司取得一项名为○=●△=“一种基座◇●”的专利★…-•◆，授权公告号 CN 222029053 U九游会j9登录官网…★■○减少由于内应力拉伸使得基座本体表面出现破裂的可能，申请日期为2024年3月■○•□▼。金融界2024年11月23日消息九游会j9登录官网◁•☆=九游会j9登录北京凯芯新材料科技取得一种基座专利，

　　专利摘要显示九游会j9登录官网•◇，本申请涉及半导体制作的技术领域九游会j9登录官网=◆…▼▲，提供了一种基座▪-★▲-，其包括基座本体-•▽■，所述基座本体的上表面绕自身轴线开设有环形凹槽□▲★••，所述基座本体的上表面开设有连通于环形凹槽的定位卡槽•◇★◆-▷。本申请通过设置的环形凹槽=…▲◁●□，对通过保温桶热传导到基座本体上的热量所引起的内应力•☆◁•，在环形凹槽内进行释放★▪•◁▼•，减少由于内应力拉伸○☆□▪…▪，以使得基座本体靠近于保温桶的表面出现破裂的可能◁•▼△△□，以延长该基座本体的使用寿命▼▷★；以及通过设置的定位卡槽□○●■，以使得保温桶和基座同轴转动◁◇-，进而以对放置在保温桶上的多个半导体衬底同轴转动的有益效果■▽■。